Hvad ville nanoteknologi være uden et renrum? Hvad forventer vi af et renrum? Hvorfor er nogle renrum renere end andre, og hvorfor er renrum så dyre? I denne artikel vil vi forklare de almindelige termer der bruges om renrum og gennemgå de renrumsfaciliteter, der findes i Danmark.
Et renrum er en vital facilitet indenfor nanoteknologi, hvor der oftest stilles høje krav til partikelforureningsniveauet. I et renrum reguleres partikelkoncentrationen – dvs. antallet af partikler pr. volumenenhed - samt temperaturen og luftfugtigheden. Renrummene klassificeres efter den maximalt forekommende partikkelkoncentration samt partikkelstørrelsen:
I et klasse 1 renrum er der mindre end 1 partikkel større end 0,5 mikrometer pr. kubikfod luft, i et klasse 10 renrum er der mindre end 10 partikler … og så videre.
|
|
Max. antal partikler/ft³ Max. antal partikler/m3 |
|
Klasse |
Partiklstr. > 0,5 µm |
Partiklstr. > 5 µm |
Partikelstr. > 0,1µm |
ISO
Standard |
SI
Standard |
|
10 |
10 |
ikke defineret |
10.000 |
4 |
2,5 |
|
100 |
100 |
ikke defineret |
100.000 |
5 |
3,5 |
|
1.000 |
1.000 |
7 |
1.000.000 |
6 |
4,5 |
|
10.000 |
10.000 |
70 |
10.000.000 |
7 |
6,5 |
|
100.000 |
100.000 |
700 |
|
8 |
7,5 |
Partikelkoncentrationen reguleres ved at filtrere luften gennem specielt designede filtre. Et Highly Efficiency Particulate Absolute (HEPA) filter fjerner mere end 99,97 % af partiklerne med en gennemsnitsdiameter på 0,3 mikrometer fra den gennemstrømmende luft. Et Ultra Low Penetration Air filter (UPLA) kan bortfiltrere 99,9995 % af partiklerne med en diameter mellem 0,12 og 0,16 mikrometer fra den gennemstrømmende luft. For klasse 1 og klasse 10 renrum er UPLA filtrene essentielle for at opretholde den ønskede lave partikelkoncentration, mens det for de lavere klasser renrum er tilstrækkeligt at filtrere luften gennem HEPA filtre.
God filtrering af luften gør det ikke alene. Omtrent 75 % af partiklerne i et renrum stammer fra de personer, der arbejder der. Den resterende del kommer fra ventilationen, udstyrsparken og selve rummet. En stillesiddende person uden renrumsdragt genererer mere end 1 x 105 partikler pr. minut og end gående person mere end 1 x 106 partikler per minut. Partiklerne stammer bl.a. fra støv, hud, hår, makeup, parfume og bakterier.
For at minimere partikelforureningen fra de personer der arbejder i renrummet bruges renrumsdragter, hætter, handsker, mundbind mv. ligesom hensigtsmæssig brug af materialer og udstyr kan bidrage til at holde partikelforureningen på et lavt niveau.
Se liste over renrum i Danmark med adgang for eksterne firmaer og forskere her
Se liste over renrumsudstyr fordelt på de fire fungerende danske renrum med adgang for eksterne kunder
Mere om renrum:
R3 Nordic er en forening med et netværk for forskning, uddannelse, produktudvikling og produktion indenfor R3-teknikken - Renhedsteknik og Rene Rum - i Norden.
ISO - Organisation, der udarbejder de internationale standarder for renrum.